可見光系統(tǒng)通常采用CCD相機以及中繼鏡對鏡頭所成圖像進行評估,可使用以下靶標(biāo):小孔/狹縫/十字叉絲/刀口/雙狹縫(用于EFL測試)
?
?
特點:
選用帶制冷或不帶制冷的CCD相機用于實時測試
可選配紫外和近紅外測試模塊
可選配PMT(光電倍增管)掃描模塊
使用光束控制鏡或擺臂進行離軸測試
|
? |

|
探測器
|
分辨率、像元大小
|
標(biāo)準(zhǔn)分辨率 CCD 相機
|
0780 x?0582 毫米,8.33 微米
|
高分辨率 CCD 相機
|
1388 x 1038,6.45 微米
|
超高分辨率 CCD 相機
|
2452 x 2056,3.45 微米
|
制冷型 Scientific CCD 相機
|
1344 x 1024,6.45 微米
|
光電倍增管
|
1 um 狹縫孔徑
|
?
|
?
|
視場角生成器
|
范圍、精度、負(fù)載能力
|
旋轉(zhuǎn)臺臺
|
+/-120 度,5 秒,25 千克
|
擺臂(線性平臺)
|
+/-030 度,5 秒,50 公斤
|
擺臂(線性載物臺)
|
+/-045 度,5 秒,50 公斤
|
擺臂(圓形舞臺)
|
+/-120 度,5 秒,200 公斤
|
光束轉(zhuǎn)向鏡
|
+/-020 度,5 秒,NA
|
?
|
?
|
準(zhǔn) 直 器
|
直徑、波前精度
|
Off-Axis Parabola
|
100 - 500 毫米,lambda/10 @ 633nm
|
消色差雙合透鏡/三合透鏡
|
025 - 100 毫米,lambda/50?@ 633nm
|
?
|
?
|
光源
|
描述
|
可見對象生成器
|
50W T-H 燈,冷凝器光學(xué)元件
|
光纖光源
|
50W T-H 燈,光纖電纜
|
?
|
?
|
電動載物臺
|
規(guī)范
|
焦點、視野、高度
|
線性,50 或 100 mm 行程
|
視場角
|
線性或旋轉(zhuǎn)
|
鏡頭旋轉(zhuǎn)
|
旋轉(zhuǎn) 360 度,孔徑可達 200 毫米
|