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離子源廣泛應(yīng)用于光學(xué)真空鍍膜、材料表面精細(xì)拋光與蝕刻等領(lǐng)域，在光學(xué)輔助鍍膜離子源中，柵網(wǎng)板通常做成凸曲面形狀，以獲得在一定立體角中擴(kuò)散形的離子束流，離子束截面的能量分布希望盡可能均衡，在被照射的工件表面希望各處轟擊能量盡可能一致，柵網(wǎng)板的凸曲面形狀，決定了離子束流的運(yùn)行軌跡和空間角中離子束流截面的能量分布。

光學(xué)鍍膜機(jī)中離子源柵網(wǎng)使用產(chǎn)生正離子，為了到達(dá)與中和器產(chǎn)生的負(fù)電子相中和的目的，離子源是由本體、柵網(wǎng)、石英碗，RF射頻電源線組成，柵網(wǎng)由D、A、S三層網(wǎng)組成。由于柵網(wǎng)長時(shí)間工作過程中正離子不斷生成轟擊等，因此使用一段時(shí)間后需要拆下柵網(wǎng)進(jìn)行清潔。

傳統(tǒng)情況下會(huì)使用噴砂方式或化學(xué)清洗劑處理的方式。使用噴砂的方式處理對(duì)操作人員的處理手法要求極高，噴砂不均勻會(huì)導(dǎo)致柵網(wǎng)形變，同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生作業(yè)粉塵；化學(xué)處理在浸泡處理柵網(wǎng)后，產(chǎn)生的化學(xué)廢液也需要存放和處理，處理過后的柵網(wǎng)有可能會(huì)出現(xiàn)一定的表面侵蝕。

使用柵網(wǎng)激光自動(dòng)清洗機(jī)可以均勻的去除柵網(wǎng)表面的膜層、氧化物，可重復(fù)性好且清潔效果一致性好，激光清洗的方式綠色無污染，不產(chǎn)生化學(xué)污染物和污染廢氣。將柵網(wǎng)安裝在清洗架上后，操作設(shè)備觸摸屏選取相應(yīng)的柵網(wǎng)型號(hào)，即可進(jìn)入自動(dòng)清洗程序，自動(dòng)化完成柵網(wǎng)表面膜層污染物的清洗。